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规格型号： 超细线用非接触5μm-2mm直线度±0.3μm
规格型号：544-533/LSM-501S/0.05-10mm 细线测量用非接触0.05mm-10mm直线度±0.5μm
规格型号：544-535/LSM-503S/0.3-30mm/JIS 宽量程用非接触0.3-30mm直线度±1.0μm
规格型号：544-537/LSM-506S/1-60mm/JIS 宽量程用非接触1-60mm直线度±3μm
规格型号： 宽量程用非接触1-120mm直线度±6μm
规格型号： 宽量程用非接触1-160mm直线度±7μm
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